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精微影象仪MicroLine 300

点击次数:更新工夫:2017-02-24 15:51:00
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要害尺寸的自动化光学丈量体系

 

 

MicroLineTM 300影象测量仪是一款下机能丈量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工装备等要害尺寸的自动化丈量体系。该体系装备了下质量光学显微镜和周详挪动平台,可对200mm的晶圆上0.5µm400µm的特性尺寸停止全自动的周详视场丈量。

 

n  200 x 200mm周详X-Y平台

n  基于视觉的主动聚焦得到最好影象质量

n  主动照明可编程光强

n  用于丈量通明层、不规则边沿的线、薄膜等的微弱机能

n  完整可编程的序列,包孕主动聚焦要害尺寸丈量

n  电动的6目物镜转换器,软件掌握

n  可选的透射照明

 

手艺规格:

- 丈量路程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平台运转: 交织滚轴手动同轴定位和快速开释

- 视场内的丈量精度: 0.010µm (100x物镜)

- 特性尺寸: 视场内0.5µm - 400µm

- FOV丈量重复性: <0.010µm on wafers (100x物镜)

<0.005µm on photomasks (100x物镜)

- 照明: 石英卤素灯, 反射光

       主动照明

- 低乐音CCD VGA花样摄像头

- 图象处置惩罚60帧每秒

 

MicroLine 300的典范运用包孕:

l  晶圆

l  光罩

l  MEMS

l  微型组件

 

丈量范例:

n  要害尺寸:

线宽  Linewidth

节距  Pitch

间隙  Spacing

 

n  Overlay

             Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

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